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FIS4-DPHASE-1 四波动态干涉仪
四波动态干涉仪
FIS4四波动态干涉仪，基于共路四波横向剪切干涉原理。镜头通用；抗振性强，无需单独隔振平台；无需移相，易调节；性价比高；100%国产自研，高精度！ 高抗振性！ 实时观测！
设备特点
◆ 利用了组合的双干涉系统：共路干涉稳定、无需移相、调整便捷，适于大口径长光程高精度稳定测量
◆ 测量分辨率 2 nm
◆ 测量重复性强 ≤1/1000λ（633nm波段）
◆ 无需隔振、稳定性 & 抗振性超强（适用工厂高精度检测）
◆ 搭配五维调整架、适应各姿态调节、操作简便
◆ 适配不同F数的消球差镜： F1、 F3、 F5 … …
◆ 实时显示输出波前 PV值、 RMS值、Zernike系数 … …
应用范围
◆ 球面、平面光学元件表面高精度面形检测
应用示例
 | 球面动态干涉仪，利用了一个组合的双干涉系统： (a)FIS4 四波剪切干涉测量系统，激光器准直扩束，经分光镜和标准消球差镜，照射于被检球面, 反射光束携带被测球面面型信息，进入FIS4传感器进行面型信息解调。避免了如菲索、泰曼格林等双光束干涉中被检光路受外界扰动影响。 (b)泰曼格林球面干涉调整系统 。 |
 | 动态干涉仪平面测量光路如图所示： 激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。 |
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| 光学球面面形测量示例 | 光学平面面形测量示例 |
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| 光学窗口片测量示例 | 光学系统校准测量示例 |
设备技术参数
测量方式 | 共路单光路测试 |
光源波段 | 632.8±1nm |
输出相位分辨率 | 512 x 512 |
标准消球差镜 | F1\F3\F5\F7,……,32（根据需求选配） |
动态范围(μm) | ＞250 |
精度PV值 (λ) | ≤1/20λ |
RMS 测量重复性(λ) | ≤1/1000λ |
测量分辨率(nm) | 2 |
实时显示帧频(Hz) | 10 |
传感器随机配备 | 图像处理服务器 |
配备处理软件 | 《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的：PV值、RMS值、POWER值 |
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