光学平板畸变数字化检测仪ZWD-100

光学平板畸变数字化检测仪(ZWD-100)采用目前国际新颖的高科技数字干涉技术，系统利用可变剪切率的四波前横向剪切干涉的光学共路干涉系统。实现了将传统目视的激光平面干涉仪功能进行了完全数字化的提升。该干涉系统结构紧凑、干涉条纹稳定，系统利用自干涉波前进行平行平板的面形及透射波前的畸变检测，特别适合于车间现场的质量检测，设备具有很高的性价比。

◆ 共路自干涉-无需参考面
◆ 抗振性好，无需隔震平台，普通车间环境可以应用检测
◆ 实时性好，可做到数十帧动态检测
◆ 性价比好，调整简单，结构紧凑

◆ 光束质量检测、瞬态波前检测
◆ 光学平板元件、蓝宝石衬底片、精密金属表面等面形、透射波前检测
◆ 智能手机及高清监控窗口平板玻璃畸变检测
◆ 可用于高精度光学系统像质检测
◆ 生物定量相位显微成像
◆ 自适应光学波前传感等方面检测

设备与目前国际上通用的ZYGO GPI干涉仪测量的结果进行比对，对同一元件在两种设备分别测量后求取PV、RMS、POWER均值后，结果吻合。设备已应用于车间现场。

图1 光学元件表面面形检测结果

图2 蓝宝石元件透射波前检测结果

图3 设备现场使用照片

   系统由下列几部分组成，光学共路干涉主机系统、被测样品调整组件、标准反射镜调整组件、系统随机配备图像处理电脑、《光学平板畸变数字化检测仪》软件。

   考虑样品尺寸变化的特殊性，在检测大小不同尺寸的平板样品时，为获得更理想分辨率的测试结果。可以采用口径40mm、100mm配置。

   具体技术指标见表一。

表一(ZWD-100)型技术指标

    整机尺寸及布局（含样品台）