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白光轮廓仪
设备特点
◆ 基于数字干涉传感器共路自干涉，优异的抗震性能；
◆ 无需额外参考光路；
◆ 无需干涉物镜，仅需普通成像物镜；
◆ 多物镜切换，保证大视野，高分辨率
应用示例
定标板表面划痕等高图和3D图
光滑元件表面微观形貌及粗糙度
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