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光窗表面疵病缺陷检测仪是光窗装调、检测过程的一个重要设备。
◆ 基于数字干涉传感器共路自干涉,优异的抗震性能;◆ 多物镜切换,保证大视野,高分辨率;◆ 便携式三脚架设计,可实现场外、场内快速布置;◆ 阻尼云台配合微调机构,可实现120°俯仰、360°转动的粗调及精调,保证大范围高精度检测。
图1 标准线宽3D量测
图2 光窗表面划痕深度3D量测
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