Zer-AOI-150 强激光平面、 曲面元件表面缺陷测量系统

光学元件表面缺陷检测仪采用机器视觉方式，对玻璃、金属表面缺陷实现自动化、高速、高精度检测，可有效解决目视检测效率低、准确性差的难题。检测分辨率***可达0.5μm，检测口径***可达150mmX150mm；设备可自动报表输出，报表输出格式包括：美军标 U.S.Military Standard MIL-PRF-13830A/B，国际标准 ISO 10110-7，国标 GB/T 1185-2006。

光学元件表面缺陷检测仪成像采用环形照明，显微散射暗场成像。符合我司作为主导单位参与制定的2022年新颁布的***标准GB/T 41805-2022所述的“光学元件表面疵病定量检测方法—显微散射暗场成像法”。