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FIS4-UV 紫外四波干涉传感器
FIS四波干涉传感器简介
100%国产自研，512×512（262144）个相位点的超高分辨率，实现200nm到450nm波段的高精度波前测量，可用于光学系统像差测量、光学系统校准、平面（晶圆）面形测量、光学球面面形测量、等。
FIS4 UV将随机编码四波衍射专利技术与紫外相机相结合，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，搭配紫外成像系统即可实现波前实时测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。
主要特点
◆ 100%国产自研
◆ 单路光自干涉，无需参考光
◆ 紫外光谱200nm~450nm波段
◆ 2nm RMS高相位分辨率
◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振
◆ 具有激光干涉条纹抑制设计
◆ 支持准直光束、高NA非准直光束
产品应用
光学系统像差测量、光学系统校准、平面（晶圆）面形测量、光学球面面形测量
产品规格
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光源类型 |
连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源 |
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波长范围 |
200nm~450nm |
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靶面尺寸 |
9mm×9mm |
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空间分辨率 |
26μm |
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取样分辨率 |
512×512（262144点） |
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相位分辨率 |
＜2nmRMS |
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绝 对 精 度 |
10nmRMS |
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动态范围 |
80μm（256λ） |
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采样速率 |
32fps |
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实时处理速度* |
10Hz（全分辨率下） |
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接口类型 |
USB3.0 |
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尺寸 |
70mm×46.5mm×68.5mm |
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重量 |
约240g |
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触发方式 |
支持外部同步触发 |
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