FIS4-NIR 近红外四波干涉传感器

100%国产自研，512×512（262144）个相位点的超高分辨率，实现900nm到1200nm波段的高精度波前测量，可用于光学系统像差测量、光学系统校准、材料内部晶格分布测量、超表面、超透镜波前测量等。

FIS4 NIR将随机编码四波衍射专利技术与红外相机相结合，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，普通成像系统即可实现干涉测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。

◆ 100%国产自研

◆ 单路光自干涉，无需参考光

◆ 宽光谱900nm~1200nm波段

◆ 2nm RMS高相位分辨率

◆ 高达240μm的大动态范围

◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振

◆ 具有激光干涉条纹抑制设计

◆ 支持准直光束、大NA会聚光束

光学系统像差测量、光学系统校准、材料内部晶格分布测量、超表面、超透镜波前测量