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FIS4-HR-W 高分辨率四波干涉传感器

FIS4四波传感器简介

      100%国产自研,专为工业、科研、国防便捷干涉测量而开发。300×300(90000)个相位点的高分辨率,400-900nm宽光谱响应,10帧全分辨率实时3D结果显示,为激光光束波前检测、自适应光学、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面面形、球面面形测量、表面粗糙度、表面微观轮廓检测等提供理想的波前传感测量工具。

FIS4 HR-W采用随机编码四波衍射专利技术实现单路被测波前自干涉,于后端像面位置发生干涉。对光源相干性要求低,无需移相,利用普通成像系统即可实现干涉测量。具有超高抗振性能、超高稳定性,无需隔振即可实现nm级精度测量,相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有更多高分辨相位点、适应波段范围更宽、动态范围更大、更优性价比。

主要特点

 100%国产自研

◆ 单路光自干涉,无需参考镜

◆ 宽光谱400nm~1100nm波段

◆ 2nm RMS高相位分辨率

◆ 极强的抗振性能,无需光学隔振

◆ 实现简易快捷的干涉光路搭建

◆ 支持准直光束、大NA会聚光束

产品应用

光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面、球面面形测量、表面粗糙度检测

产品规格

光源类型

LED、卤素灯等宽光谱光源

波长范围

400~1100nm(用于白光)

靶面尺寸

7.07mm×7.07mm

空间分辨率

23.6μm

相位输出分辨率

300×300

绝 对 精 度

10nmRMS

相位分辨率

≤2nmRMS

动态范围

≥80μm

采样速率

24fps

实时处理速率

10Hz(全分辨率下)

接口类型

网口

尺寸

56.5mmx43mmx41.5mm

重量

约120g

制冷方式

FIS4-HR-W 高分辨率四波干涉传感器
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