我们生活中用到的电子设备、如手机、电脑、电视都是依赖于各种芯片。而每个芯片的核心是一个圆片，它是从各种圆片上切割下来的。晶圆本身存在良率问题，晶圆表面也可能存在各种缺陷。为了防止有缺陷的晶圆流入后续封装过程，必须使用光学检测设备对晶圆表面缺陷进行识别、分类和标记，并辅助晶圆分拣。那么接下来我们就来说说机器视觉检测晶圆的解决方案。

晶圆表面瑕疵检测

【测量需求】

1.晶圆三维表面形貌

2.晶圆表面缺陷

【检测步骤】

1.固定晶圆样品至FocalStation测量台，并进行机械原点归位;

2.在FS软件中设置扫描参数，开始扫描并等待任务完成;

3.数据预处理，包含校平、光学降噪等;

4.分析与报告;

【晶圆表面缺陷检测优势】

1.设备特点：特殊膜片自动送料机构。

2.检测精度：精度可达微米级。

3.检测效率：检测速度可达每分钟1200个。

4.主要功能：检测长、宽、高、直径、混合、变形、缺料、毛刺、黑点、划痕、污点等

5.适用范围：适用于橡胶圈、螺丝、螺母、汽车配件、手机配件、不锈钢、铝、塑料、磁性材料、五金配件、电子产品等设备的检测。

6.非接触式测量：由于不会损坏观察者或观察者，提高了系统的可靠性。

7.机器视觉解决方案可以节省大量劳动力，大大提高生产效率。

8. 宽光谱响应范围。例如，使用人眼不可见的红外测量可以扩大人眼的可视范围。

9.长期稳定工作：虽然人类很难长时间观察同一物体，但机器视觉可以长时间执行测量、分析和识别任务。

总结 机器视觉检测可以很好的替代人工实现缺陷的检测、提高工作的效率。杭州国辰拥有6年的工作经验，帮助很多企业实现机器替代人工的方案实施。