球面、非球面表面缺陷检测仪

Name: 球面、非球面表面缺陷检测仪
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利用光学成像方法，针对平面、球面、非球面、柱面及其他复杂面型、光学元件表面缺陷（如划痕、麻点）检测、玻璃、金属、半导体等光滑表面疵病（下文亦称瑕疵、缺陷）自动化定量检测。在元件夹持后，可直接对平面元件进行调平及扫描成像；针对球面、非球面、柱面等复杂面型元件进行自动光学定中，确定球心、光轴位置并调整；同时可依据元件面形进行扫描规划，规划后自动控制多轴扫描机构进行子孔径扫描，利用环形多方向照明，有效获得高分辨散射暗场图像，再利用图像识别软件，自动提取划痕、麻点等疵病，同时可区分识别灰尘、麻点，避免灰尘对检测结果的影响，提取后，依据国际标准、国标等自动生成电子报表。

◆ 高分辨率：基于环形显微散射暗场成像，分辨率达0.5μm

◆ 检测范围广：高、低倍扫描结合，实现大范围高精度检测

◆ 宏观尺度微观缺陷检测：依据曲面面形的子孔径扫描自动规划

◆ 自动输出数字化报表：兼容国标、美军标、国际表、统计报表等

◆ 兼容平面（大契角平面）、球面、非球面；

◆ 输入面形方程自动规划路径；
◆ 专利照明技术，保证均匀暗场成像效果，有效避免多次反射光影响。

图1 部分典型缺陷成像效果图

图2 基于面形方程及成像景深的子孔径路径规划

图3 各类报表

型号	Zer-A150SD
设备尺寸	2000mm（长）×1500mm（宽）×2400mm（高）
检测对象	平面、球面、非球面光学元件
检测口径	≤150mm
检测分辨率	0.5μm
检测R限制	R≥20mm
检测方式	低倍（1X）+高倍（8X）
运动机构	电动6轴平动、4轴转动
CCD像素	2048×2048