光学元件内部缺陷检测仪（气泡、杂质）

Name: 光学元件内部缺陷检测仪（气泡、杂质）
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可实现玻璃元件内部微气泡纳米级检测，可定量计数玻璃气泡的个数、分布、尺寸等。

◆ 采用XY 直线电机，用于 XY 水平方向快速扫描移载，保证采图拼接精度，具有移动速度快、定位精度高（绝对定位精度达±2μm）、噪声小、寿命长等优势；

◆ Z向线轨采用松下伺服电机保证 Z 向步距扫描成像，保证步距精度优于±5μm；

◆ 大理石平台保证了整体设备的稳定可靠性，避免外部震动对成像的影响；

◆ FFU 用于保证检测环境的洁净，尽量避免检测中灰尘的影响；

◆ 便捷的上料开口，人工可快速便捷上下料。

图1 采集到的气泡图像

图2 气泡提取结果图

图3 部分气泡提取尺寸放大图示

测量元件尺寸范围	平面样品最大尺寸为500mm×500mm
可测量元件厚度	最大60mm
气泡成像分辨率	5μm
成像像素	3072 × 2048
成像视野	7.4mm×4.92mm
被测样品材料	透明光学玻璃
被测样品状态	镀膜前、上下表面精抛后
测量方式	手动上料，全自动调整检测
测量时间	测量口径为100mm×100mm×50mm元件耗时约2h
三维扫描功能	通过三维平移来实现内部气泡的采样，然后对采集到的气泡图像进行拼接，得到三维空间内气泡的分布图
扫描硬件	XY平面扫描采用二维直线电机，保证扫描位置偏差优于±2μm；Z向扫描采用高精度丝杆电机，扫描精度优于±5μm
Z向扫描步距	0.5mm
空气净化	FFU局部百级