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ZERNIKE-SAI600 高精度光学元件表面缺陷检测仪

检测对象：光学掩膜片、平面光学玻璃、光学窗口片、滤光片、硅片等。

检测最大尺寸：最大兼容600mm×600mm尺寸

检测分辨率：2x：2.5um；10x：0.5um；20x：0.25um；50x：0.1um (仅用于复判)
检测方式：明场检测
输出报表：国标、美军标及企业定制化报表


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ZERNIKE-SAI600 高精度光学元件表面缺陷检测仪
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