干涉测量法说明

激光干涉测量法是一种完善的高精度测距方法。

基本介绍

“干涉测量法”是一种利用波的干涉现象（常见的波有光波，无线电波或声波）进行测量的一种方法。测量可能涉及对波本身的某些特性以及与波相互作用的材料的测量。此外，“干涉测量法”用于描述通过光波研究位移变化的技术。在精密加工中广泛采用这一位移干涉测量法来校准和控制机械台运动。

通过使用两束光（通常将一束光分为两束光），可在其叠加时形成干涉图。由于可见光的波长非常短，两束光的光路（传播距离）稍有不同，就能被检测出来（因为这些差异会在干涉图上产生明显的变化）。因此，光学干涉测量法上百年来一直是一项非常有价值的测量技术。随着激光的发明，干涉测量法的精度得以改进。

Albert A. Michelson于19世纪80年代发明了***台干涉仪，成为使用光的干涉原理作为测量工具的***代表人物。尽管多年来该技术（和测量精度）不断发展和改进，但麦克逊 (Michelson) 干涉仪的基本原理仍然是干涉测量法的核心。

麦克逊 (Michelson) 干涉仪包含一个分光镜（半镀银镜）和两个镜片。当光透过半镀银镜/分光镜（部分反射）时便分裂为具有不同光路的两束光（一束光射向镜片1，另一束光射向镜片2）。这两束光被两个镜片反射回来后，在分光镜上重新组合，然后到达探测器。两束光光路的不同导致相位差，从而形成干涉条纹图形。发射头则对该图形进行分析，以评估波的特性、材料属性或其中一个镜片的位移（取决于干涉仪测量正在执行什么测量）。

麦克逊 (Michelson) 干涉仪示意图