150-6715-4328
FIS4-NIR 近红外四波干涉传感器
100%国产自研，512×512（262144）个相位点的超高分辨率，实现900nm到1200nm波段的高精度波前测量，可用于光学系统像差测量、光学系统校准、材料内部晶格分布测量、超表面、超透镜波前测量等。
FIS4 NIR将随机编码四波衍射专利技术与红外相机相结合，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，普通成像系统即可实现干涉测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。
◆ 100%国产自研
◆ 单路光自干涉，无需参考光
◆ 宽光谱900nm~1200nm波段
◆ 2nm RMS高相位分辨率
◆ 高达240μm的大动态范围
◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振
◆ 具有激光干涉条纹抑制设计
◆ 支持准直光束、大NA会聚光束
光学系统像差测量、光学系统校准、材料内部晶格分布测量、超表面、超透镜波前测量
光源类型 | 连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源 |
波长范围 | 900nm~1200nm |
靶面尺寸 | 10mm×10mm |
空间分辨率 | 26μm |
取样分辨率 | 512×512（262144点） |
相位分辨率 | ＜2nmRMS |
绝 对 精 度 | 15nmRMS |
动态范围 | 240μm（256λ） |
采样速率 | 32fps |
实时处理速度* | 10Hz（全分辨率下） |
接口类型 | USB3.0 |
尺寸 | 70mm×46.5mm×68.5mm |
重量 | 约240g |
触发方式 | 支持外部同步触发 |
定制 | 支持1200nm~15μm 中远红外波段的定制需求 |
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