FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器

Name: FIS4-UHR 超高分辨率四波干涉传感器
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100%国产自研，专为助力科研与高精度工业场景开发，更高的分辨率可以在波前探测中具有更多的细节信息，512×512（262144）个相位点的超高分辨率， 400-900nm宽光谱响应，10帧全分辨率实时3D结果显示，为激光光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学球面面形测量、表面粗糙度检测、表面微观轮廓等提供理想的波前传感测量工具。

FIS4 UHR采用随机编码四波衍射专利技术实现单路波前自干涉，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，普通成像系统即可实现干涉测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有相位点更多、适应波段范围更宽、动态范围更大、价格更低。

◆ 100%国产自研

◆ 512×512（262144）个相位点的超高分辨率

◆ 单路光自干涉，无需参考光

◆ 宽光谱400nm~900nm波段

◆ 2nm RMS高相位分辨率

◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振

◆ 具有激光干涉条纹抑制设计

◆ 支持准直光束、大NA会聚光束

激光光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面、球面面形测量、表面粗糙度检测

光源类型	连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源
波长范围	400nm~900nm
靶面尺寸	9mm×9mm
空间分辨率	26μm
取样分辨率	512×512（262144点）
相位分辨率	＜2nmRMS
绝对精度	15nmRMS
动态范围	162μm（256λ）
采样速率	32fps
实时处理速度*	10Hz（全分辨率下）
接口类型	USB3.0
尺寸	70mm×46.5mm×68.5mm
重量	约240g
触发方式	支持外部同步触发
定制需求	支持高速采集场景的定制需求