FIS4-DPHASE-1 四波动态干涉仪

Name: FIS4-DPHASE-1 四波动态干涉仪
Rating: 4.7 (91 reviews)

FIS4四波动态干涉仪，基于共路四波横向剪切干涉原理。镜头通用；抗振性强，无需单独隔振平台；无需移相，易调节；性价比高；100%国产自研，高精度！高抗振性！实时观测！

◆ 利用了组合的双干涉系统：共路干涉稳定、无需移相、调整便捷，适于大口径长光程高精度稳定测量

◆ 测量分辨率 2 nm

◆ 测量重复性强 ≤1/1000λ（633nm波段）
◆ 无需隔振、稳定性 & 抗振性超强（适用工厂高精度检测）

◆ 搭配五维调整架、适应各姿态调节、操作简便

◆ 适配不同F数的消球差镜： F1、 F3、 F5 … …

◆ 实时显示输出波前 PV值、 RMS值、Zernike系数 … …

◆ 球面、平面光学元件表面高精度面形检测

	球面动态干涉仪，利用了一个组合的双干涉系统： (a)FIS4 四波剪切干涉测量系统，激光器准直扩束，经分光镜和标准消球差镜，照射于被检球面, 反射光束携带被测球面面型信息，进入FIS4传感器进行面型信息解调。避免了如菲索、泰曼格林等双光束干涉中被检光路受外界扰动影响。 (b)泰曼格林球面干涉调整系统。
	动态干涉仪平面测量光路如图所示：激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。

光学球面面形测量示例	光学平面面形测量示例

光学窗口片测量示例	光学系统校准测量示例

测量方式	共路单光路测试
光源波段	632.8±1nm
输出相位分辨率	512 x 512
标准消球差镜	F1\F3\F5\F7,……,32（根据需求选配）
动态范围(μm)	＞250
精度PV值 (λ)	≤1/20λ
RMS 测量重复性(λ)	≤1/1000λ
测量分辨率(nm)	2
实时显示帧频(Hz)	10
传感器随机配备	图像处理服务器
配备处理软件	《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的：PV值、RMS值、POWER值