FIS4-HR-W 高分辨率四波干涉传感器

Name: FIS4-HR-W 高分辨率四波干涉传感器
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100%国产自研，专为工业、科研、国防便捷干涉测量而开发。300×300（90000）个相位点的高分辨率，400-900nm宽光谱响应，10帧全分辨率实时3D结果显示，为激光光束波前检测、自适应光学、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面面形、球面面形测量、表面粗糙度、表面微观轮廓检测等提供理想的波前传感测量工具。

FIS4 HR-W采用随机编码四波衍射专利技术实现单路被测波前自干涉，于后端像面位置发生干涉。对光源相干性要求低，无需移相，利用普通成像系统即可实现干涉测量。具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量，相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有更多高分辨相位点、适应波段范围更宽、动态范围更大、更优性价比。

◆ 100%国产自研

◆ 单路光自干涉，无需参考镜

◆ 宽光谱400nm~1100nm波段

◆ 2nm RMS高相位分辨率

◆ 极强的抗振性能，无需光学隔振

◆ 实现简易快捷的干涉光路搭建

◆ 支持准直光束、大NA会聚光束

光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测、光学平面、球面面形测量、表面粗糙度检测

光源类型	LED、卤素灯等宽光谱光源
波长范围	400~1100nm（用于白光）
靶面尺寸	7.07mm×7.07mm
空间分辨率	23.6μm
相位输出分辨率	300×300
绝对精度	10nmRMS
相位分辨率	≤2nmRMS
动态范围	≥80μm
采样速率	24fps
实时处理速率	10Hz（全分辨率下）
接口类型	网口
尺寸	56.5mmx43mmx41.5mm
重量	约120g
制冷方式	无