平面动态干涉仪

平面动态干涉仪采用目前国际新颖的高科技数字干涉技术，系统利用可变剪切率的四波前横向剪切干涉的光学共路干涉系统。实现了将传统目视的激光平面干涉仪功能进行了完全数字化的提升。该干涉系统结构紧凑、干涉条纹稳定，系统利用自干涉波前进行平行平板的面形及透射波前的畸变检测，特别适合于车间现场的质量检测，设备具有很高的性价比。

测试内容: 波前像差分析、透射波前、反射波前面形测量
光源波段: 633nm
有效口径: 100mm
RMS: 优于λ/1000
测量精度PV: 优于λ/20
使用环境: 无须隔振
可测反射率范围: 1%~100%

蓝宝石元件检测结果

光学元件干涉波前

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